فیلسوفان شیوه‌های متفاوتی در تبیین و اثبات توحید بر گزیده‌اند که نشانه توسعه و تکمیل روشها و وجوه گوناگونِ تحقیق و بررسی در این باب است.

در فلسفه اسلامی هر سه مرتبه توحید یعنی توحید ذاتی، توحید صفاتی، و توحید افعالی بررسی و براهین متعددی اقامه شده است. به عنوان مثال، از نظر فلاسفه، (مثلا ابن سینا) از آنجا که خدا واجب الوجود بالذات است، نفی توحید مسلتزم خلف و تناقض است.

تعبیر واجب الوجود و اثبات توحید به شیوه استدلالی ابن سینا، پس از وی رواج یافت، به گونه‌ای که علاوه بر فیلسوفان، اکثر متکلمان شیعی نیز همان روش را به کار بردند

سهروردی نیز استدلال ابن سینا بر وحدانیت واجب را مطرح و از تعبیر واجب الوجود استفاده کرده و با تمسک به قاعده «صِرْفُ الشیءِ لایتثنّی ولایتکرّر» نیز وحدت واجب الوجود را اثبات کرده است.

فلاسفه همچنین به بساطت ذات خداوند و عدم ترکیب او، که همان معنای «احدیت» در توحید ذاتی است توجه ویزه‌ای داشته‌اند. چرا که کثرت واجب الوجود در هر صورت مستلزم یک نحو انقسام در معنای واجب الوجود است.

ملاصدرا با طرح ابتکاری قاعده بسیط الحقیقه («بسیط الحقیقه کل الاشیاء و لیس بشیی منها») استدلال می‌نماید که ذات این حقیقت مبین بساطت و محض بودنِ کامل آن است و از آنجا که حقیقتِ صرف و بسیط، در واقع کل اشیا است، غیری برای این حقیقت باقی نمی‌ماند که بتواند دومی او باشد.

در زمینه توحید صفاتی یعنی عینیت ذات و صفات نیز، در فلسفه مطالب مهمی مطرح شده و نظریه شیعه مورد تایید قرار گرفته است. فیلسوفان پس از ابن سینا، توحید صفاتی را از جهت تعارضِ دیدگاه فلاسفه با آرای مشهور کلامی در این زمینه مطرح کرده‌اند. خواجه نصیرالدین طوسی، نظریه اشاعره مبنی بر زائد بودن صفات بر ذات را، که منتهی به قبول قدمای هشت گانه می‌شود، بیان کرده است. از سوی دیگر نظریه معتزله مبنی بر نیابت ذات از صفات را آورده و قول فلاسفه را در مقابل این دو نظریه مشهور کلامی تبیین کرده است.

صدرالدین شیرازینظر فلاسفه پیش از خود (ابن سینا، فارابی و شیخ اشراق) را به اصل اساسی نظریه خود (بسیط الحقیقه) برگردانده و با آن تطبیق داده است.

همچنین در توحید افعالی، فلاسفه تصریح دارند که هیچ فاعل و مؤثری جز خدا نیست و تمام افعال بی‌هیچ واسطه‌ای، مستند به اویند، بدون اینکه وجود بعضی از موجودات به بعض دیگر استناد داده شود. بنابراین، صادر اول یا دوم بودن معنا ندارد، بلکه همه از جانب خداوند صادر شده‌اند. بدین ترتیب، توحیدِ ایجادی به توحید وجودی و توحید فعل به توحید ذات منتهی می‌شود، زیرا ایجاد، فرع وجود است، و مبدأ اثر و اثر مبدأ، هر دو وجودند؛ فلاسفه حکمت متعالیه، غالباً این بحث را با تعابیر عرفا تبیین کرده و به شیوه و طریقه آنها نزدیک شده‌اند.